土方开挖与回填压实的施工工艺如下：
1、工艺流程：机械开挖→人工修整→(地基基槽验收合格→基础施工→基础验收合格)→机械分层回填→机械分层夯实→人工表面整平。
2、填土前应将基坑（槽）底或地坪上的垃圾等杂物清理干净肥槽回填前，必须清理到基础底面标高，将回落的松散垃圾、砂浆、石子等杂物清除干净。
3、检验回填土的质量有无杂物，粒径是否符合规定，以及回填土的含水量是否在控制的范围内如含水量偏高，可采用翻松、晾晒或均匀掺入干土等措施如遇回填上的含水量偏低，可采用预先洒水润湿等措施。
4、回填土应分层铺摊。每层铺土厚度应根据土质、密实度要求和机具性能确定。一般蛙式打夯机每层铺土厚度为200～250mrn人工打夯不大于200mm。每层铺摊后，随之耙平。
5、回填上每层至少夯打三遍。打夯应一夯压半夯，穷夯相接，行行相连，纵横交叉。并且严禁采用水浇使土下沉的所谓“水夯法。
6、深浅两基坑（槽）相连时，应先填夯深基础填至浅基坑相同的标高时，再与浅基础一起填夯。如必须分段填夯时，交接处应填成阶梯形，梯形的高宽比一般为1∶2。上下层错缝距离不小于1.0m。
