ICP-OES(AES)电感耦合等离子发射光谱，等离子体是激发源，原子发射光谱分析是根据试样物质中气态原子（或离子）被激发以后，其外层电子辐射跃迁所发射的特征辐射能（不同的光谱），来研究物质化学组成的一种方法。样品引入一个激发光源， 样品中的元素被加热至气态产生自由原子，原子核外电子吸收能量并被激发至高能态(暂稳态）， 激发了的电子从高能态返回低能态时,发射出各自的特征光谱，发射出的光谱被分光成不同波长的谱线，不同波长的谱线的强度被定量测定并与标样谱线的强度相比较，给出样品中元素的含量。现在检测器通常是CCD或CID，可同时测定多元素。只能测定总量，不能区分价态。ICP是激发源，是一种激发手段。
