真空阀是指工作压力低于标准大气压的阀门。
真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。
1、开关气路。如下图：当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。
2、控制气流大小。调节真空度在图中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气通过放气阀5可以调节容器内的真空度。3、定量充气。在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。
